丁衡高院士微米纳米技术文集

丁衡高院士高度重视我国微米纳米技术创新人才培养。他受聘作为清华大学兼职教授、博士生导师二十年整（从1987年至2006年），培养了多名博士研究生和博士后。清华大学评价他“充分运用个人多年的研究成果和实践经验，对学校科研方向的选择、技术攻关的指导和研究生的培养等方面都发挥了很大作用，表现出他具有坚实的学科专业知识、丰富的工程实践经验和高水平的研究能力”。他还是东南大学（1997年）、南京航空航天大学（2004年）、西北工业大学（2006年）、重庆大学（2014年）等学校的名誉教授，上海交通大学微纳科学技术研究院名誉院长（2002年至2010年），传感技术联合国家重点实验室学术委员会主任（2003年至2008年），新型微纳器件与系统技术国防实验室学术委员会主任（2008年至2015年）。他重视发挥青年科技工作者的作用，鼓励创新，扎实开展原创性基础研究，提出在研究计划中专门设立青年微米纳米研究基金，以年轻博士为支持主体，开展研究工作。他几乎深入我国每个微米纳米技术主要研究机构进行调查研究，发掘人才。在他的鼓励与指导下，一大批年轻的科研工作者锐意创新，脱颖而出，多数已成为我国微米纳米技术研究和产业发展的中坚力量及国家科技领军人才。

值此开展我国微米纳米技术研究30周年之际，为了充分展示丁衡高院士在我国微米纳米技术发展历程中所做的努力和贡献，传承和发扬他一贯的科学精神、创新思维和严谨作风，中国微米纳米技术学会组织出版《丁衡高院士微米纳米技术文集》。

《丁衡高院士微米纳米技术文集》整体上按照发展战略研究、科学技术综述、科学技术研究这三类题材，收集了丁衡高院士已公开发表的关于微米纳米技术领域的讲话致辞、学术报告和科技论文共36篇，以飨读者。

发展战略研究

面向21世纪的军民两用技术——微米/纳米技术/（1995年6月）

微型惯性测量组合/（1996年2月）

微机电系统的科学研究与技术开发/（1997年9月）

微小卫星应用微小型技术有关问题的思考/（1997年11月）

微系统与微米/纳米技术及其发展/（2000年5月）

MEMS技术发展战略研究中需考虑的几个主要问题/（2000年）

关于微米/纳米技术的认识与思考/（2000年12月）

微米/纳米技术当前发展动向/（2001年10月）

抓住机遇，促进微米纳米技术新发展/（2003年2月）

微纳技术进展、趋势与建议/（2006年12月）

微米纳米科学技术发展及产业化启示/（2007年12月）

MEMS器件研制与产业化/（2009年10月）

在“MEMS在机械与运载工程领域的应用研究”咨询项目启动会上的讲话/（2012年5月）

三十年不断发展的MEMS惯性传感器/（2023年10月）

科学技术综述

微型惯性测量组合的关键技术/（1996年2月）

微机电系统技术的实际应用——微型仪器/（2000年4月）

微惯性仪表技术的研究与发展/（2001年12月）

《微纳米加工技术及其应用》序/（2004年12月）

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