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微机电系统

编号:
wx1200163132
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商品介绍

《微机电系统》是在教育部对研究生推荐教材《微机械与微细加工技术》的基础上,结合微机电系统领域最新的研究成果编著而成的。全书共分为六章,分别介绍了MEMS发展历程,MEMS理论基础,MEMS基本工艺技术,MEMS设计技术,典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面,《微机电系统》结合大量工艺实例,易于学生理解,有助于提高其动手能力;对各种典型微机电器件的介绍,大部分来源于实验室的课题研究实例,内容充实新颖。《微机电系统》可以作为高年级本科生和研究生学习微机电系统的教材使用,还可以作为工程技术等专业人员的参考手册。

第1章 绪论1.1 微机电系统的定义1.2 微机电系统的发展历程1.3 微机电系统的主要研究内容1.3.1 基础理论研究1.3.2 支撑技术研究1.3.3 应用技术研究1.4 微机电系统的国内外研究及产业化现状参考文献第2章 微机电系统理论基础2.1 尺度效应2.1.1 尺度效应对材料性能的影响2.1.2 尺度效应对黏附特性的影响2.1.3 尺度效应对静电特性的影响2.1.4 尺度效应对流体系统的影响2.1.5 尺度效应对电学特性的影响2.1.6 尺度效应对热传导的影响2.2 材料基础2.2.1 硅材料2.2.2 硅化合物2.2.3 压电材料2.2.4 形状记忆合金2.2.5 超磁致伸缩材料2.2.6 电流变体与磁流变体2.2.7 有机聚合物材料2.3 力学基础2.3.1 微梁2.3.2 挤压薄膜阻尼2.3.3 质量块一弹簧一阻尼系统参考文献第3章 微机电系统制造基本工艺3.1 引言3.2 光刻3.2.1 光刻基本原理3.2.2 制版3.2.3 脱水烘3.2.4 涂胶3.2.5 软烘3.2.6 对准3.2.7 曝光3.2.8 中烘3.2.9 显影3.2.10 坚膜3.2.11 镜检3.2.12 去胶3.3 剥离3.3.1 单层胶氯苯处理法3.3.2 双层胶法3.3.3 图形反转胶法3.3.4 其他方法3.4 湿法腐蚀3.4.1 硅的各向同性湿法腐蚀3.4.2 硅的各向异性湿法腐蚀3.4.3 二氧化硅的湿法腐蚀3.4.4 氮化硅的湿法腐蚀3.4.5 铝的湿法腐蚀3.4.6 其他材料的湿法腐蚀3.5 干法刻蚀3.5.1 等离子基础3.5.2 等离子体的产生3.5.3 溅射刻蚀3.5.4 等离子刻蚀3.5.5 反应离子刻蚀3.5.6 深度反应离子刻蚀3.6 氧化3.6.1 氧化设备……第4章 微机电系统设计第5章 典型微机电器件及系统第6章 微机电系统测试参考文献

商品参数
基本信息
出版社 西北工业大学出版社
ISBN 9787561230305
条码 9787561230305
编者 苑伟政//乔大勇
译者 --
出版年月 2011-12-01 00:00:00.0
开本 16开
装帧 平装
页数 207
字数
版次 1
印次 1
纸张
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