微纳机电系统与微纳传感器技术

本书对微纳机电系统与微纳传感器领域的主要技术进行了分类阐述，全面总结了技术的发展现状，客观分析了技术的发展态势，从学科的发展规律和研究特点出发，前瞻性地思考了技术的发展思路与发展方向，提出了我国发展该学科的资助机制与政策建议。

目录
总序 i
前言 v
摘要 vii
Abstract xix
章 微纳机电系统与微纳传感器的战略地位 1
第二章 基于微纳机电系统的光学传感器及光电子芯片技术 5
节 光学MEMS技术 5
一、概述 5
二、发展现状与发展态势 11
三、发展思路与发展方向 19
四、资助机制与政策建议 21
第二节 集成生物光电子芯片技术 22
一、概述 22
二、发展现状与发展态势 24
三、发展思路与发展方向 27
四、资助机制与政策建议 52
参考文献 55
第三章 基于微纳机电系统的谱学分析传感器技术 62
节 概述 62
一、谱学分析传感器的定义与内涵 62
二、谱学分析传感器的发展动力 63
第二节 发展现状与发展态势 64
一、谱学分析传感器的发展现状 64
二、谱学分析传感器的发展态势 86
第三节 发展思路与发展方向 88
一、谱学分析传感器的关键科学问题 88
二、谱学分析传感器的发展总体思路和发展目标 88
第四节 资助机制与政策建议 89
参考文献 90
第四章 基于微纳机电系统的生化传感器与微流控芯片技术 95
节 微纳生化传感器技术 95
一、概述 95
二、发展现状与发展态势 97
三、发展思路与发展方向 108
四、资助机制与政策建议 110
第二节 微流控芯片技术 111
一、概述 111
二、发展现状与发展态势 114
三、发展思路与发展方向 127
四、资助机制与政策建议 131
参考文献 133
第五章 基于微纳机电系统的医疗传感器技术 140
节 植入式神经电极传感技术 140
一、概述 140
二、发展现状与发展态势 141
三、发展思路与发展方向 148
四、资助机制与政策建议 148
第二节 中医脉诊与针灸针传感微系统 149
一、概述 149
二、发展现状与发展态势 150
三、发展思路与发展方向 161
四、资助机制与政策建议 163
参考文献 164
第六章 前沿微纳机电系统技术 167
节 基于单芯片单面的微纳加工技术 167
一、概述 167
二、发展现状与发展态势 169
三、发展思路与发展方向 175
四、资助机制与政策建议 176
第二节 应用于汽车自动驾驶技术的微纳传感器 177
一、概述 177
二、发展现状与发展态势 178
三、发展思路与发展方向 186
四、资助机制与政策建议 187
第三节 荧光传感材料及器件 187
一、概述 187
二、发展现状与发展态势 188
三、发展思路与发展方向 201
四、资助机制与政策建议 204
第四节 基于金刚石材料的传感器 205
一、概述 205
二、发展现状与发展态势 206
三、发展思路与发展方向 209
四、资助机制与政策建议 210
第五节 基于氮化铝压电薄膜的射频FBAR211
一、概述 211
二、发展现状与发展态势 213
三、发展思路与发展方向 218
四、资助机制与政策建议 218
第六节 熔融石英的微球形陀螺 219
一、概述 219
二、发展现状与发展态势 222
三、发展思路与发展方向 227
四、资助机制与政策建议 227
参考文献 228
关键词索引 235
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