先进等离子体技术

本书介绍了低气压和大气压等离子体技术在多个技术领域中的研究进展，由等离子体技术研究领域知名科学家编写。主要内容包括等离子体在高分子材料、半导体、太阳能电池、生物材料、平面显示、水处理和火箭推进等技术领域的应用，也包含等离子体生成与控制方法、等离子体源及反应器设计、等离子体诊断、等离子体应用建模和仿真等基础内容。
本书可供从事等离子体技术和等离子体相关应用技术研究的科技人员参考，也可作为等离子体物理和等离子体相关应用专业研究生的教学参考书。

第1章 等离子体生成与控制的基本方法
1.1 等离子体生成
1.1.1 低气压下的生成（＜0.1torr）
1.1.2 中气压下的生成（0.1～10torr）
1.1.3 高气压（大气压）下的生成（＞10torr）
1.2 能量控制
1.2.1 电子温度控制
1.2.2 离子能量控制
1.3 尘埃的收集与清除
致谢
参考文献
第2章 等离子体源与反应器配置
2.1 引言
2.2 ICP特性
2.2.1 原理
2.2.2 变压器模型
2.2.3 技术方面
2.3 源和反应器的配置
2.3.1 基板形状
2.4 结论
参考文献
第3章 工业等离子体应用的 仿真
3.1 引言
3.2 PIC仿真
3.2.1 电容耦合的Ar/O2等离子体
3.2.2 三维（3D）充电仿真
3.3 流体仿真
3.3.1 电容耦合放电
3.3.2 大范国等离子体源
3.4 小结
致谢
参考文献
第4章 用于聚合物处理的氮气放电的建模与诊断
4.1 引言
4.2 实验
4.3 模型描述
4.4 结果与讨论
4.4.1 电特性
4.4.2 气相化学
4.4.3 等离子体与表面的相互作用
4.5 结论
参考文献
第5章 用于源和工业过程设计的热等离子体（射频与转移电弧）的三维建模
5.1 引言
5.2 感应耦合等离子体炬
5.2.1 建模方法
5.2.2 选定的仿真结果
5.3 直流转移电弧等离子体炬
5.3.1 建模方法
5.3.2 选择的仿真结果